DESK V TSC HP Etchli

Sputter

Deklanşör ve Std. Plaka Tam Aralıklı Yüksek Vakum Ölçer ve mekanik pompa içerir (hedef dahil değildir)

6 ”(çap) x 6” (yüksek) Pyrex silindir

Mekanik pompa, iki kademeli döner kanatlı, (DV-85N-250) filtreli, 3 cfm

Havalandırma Vanası: elektrik vanası

Inficon PSG 500 Pirani gösterge vericisi (NW16 flanşlama; ana oda)

Sistem proses kontrol cihazına arabirim

2,0 ”çap, püskürtme kaynağı

DC yeteneği

Yapılandırma: aşağı sıçramak

Kelepçe hedef uyumluluğu

Yüksek Voltaj Konsepti 50 Watt ayarlı DC güç kaynağı

Sistem proses kontrol cihazına arabirim

İğne valf kontrollü ve pozitif kapatma valfli gaz girişi

Ayarlanabilir yükseklik hükümlerine sahip 2.0 ”Etch montajı

Sistem proses kontrol cihazına arabirim

Yüzey deklanşörü

    Opsiyonlar

Film Thickness Monitor

Vacuum Pump

Carbon Rod Evaporation Accessory

Gold Target-2.375” Diameter, .002” Thick

Gold Target – 60mm Diameter x 0.1mm Thick

Silver Target- 50 x 50 mm, 0.004” Thick