Temel PC kontrolü dahil temel B tipi ünite (Windows CE) (g 425 mm x d 450 mm x s 275 mm)

Gaz arzı / Gaz kanalı (1 adet MFC)

Plazma bağlantıları Atto'ya (230 V / 16 A, tüp: 4 mm iç ve 6 mm dış)

Vakum odası / Alıcı (yuvarlak, borosilikat cam, kapak, Ø yaklaşık 211 mm, uzunluk: yaklaşık 300 mm, bölme hacmi: yaklaşık 10,5 litre)

Kapak yerine menteşeli kapı (alüminyum)

Standart elektrot (paslanmaz çelik, odanın dışında)

Jeneratör (13,56 MHz, 0 - 200 W, sabit eşleme)

Options
Vakum Pompası

Ek Gaz Kanalı